Активная пневматическая виброизоляционная система серии DVIA-P

Производитель: DAEIL SYSTEMS

Серия DVIA-P представляет собой передовые активные пневматические системы виброизоляции, в которых используются пневматические клапанные сервоприводы. Данная линейна изоляторов осуществляет контроль низкочастотных вибраций и стабилизацию полупроводникового метрологического оборудования со сверхточными моторизированными приводами. Серия DVIA-P включает в себя чувствительные датчики и мощные пневматические сервоприводы, которые противодействуют вибрациям, исходящим от перекрытий зданий, что обеспечивает сверхбыстрое время стабилизации и позволяет получать изображения с нанометровым разрешением без каких-либо помех.

Ключевые особенности:

40-70% виброизоляция при 2 Гц, ≥90% при ≥4 Гц;
Разработан для приборов для метрологии полупроводников;
Точность позиционирования: 10 мкм;
Мощный пневматический привод для поддержки устройств с моторизированными приводами;
Алгоритм управления с прямой и обратной связью;
Умная система контроля вибраций;
Активная виброизоляция по 6 степеням свободы.

Основные приложения:

CD-SEM;
Восстановление фотомаски;
Оценка фотомаски;
Автоматизированная АСМ;
Выравнивание масок;
Рентгеновская метрология;
Рентгеновский контроль дефектов;
Система электронно-лучевой литографии;
Бесконтактная объёмная метрология поверхностей;
Метрология тонких пленок.

Цена

По запросу

Для просмотра всех характеристик листайте влево

Модель	DVIA-P550	DVIA-P1000	DVIA-P2200	DVIA-P4000	DVIA-P7000	DVIA-P10000	DVIA-P20000	DVIA-P30000
Габариты изолятора (Д x Ш x В)	215 x 160 x 170 мм	240 x 240 x 110 мм	350 x 350 x 110 мм	420 x 420 x 110 мм	450 x 450 x 120 мм	450 x 450 x 120 мм	645 x 600 x 284 мм	735 x 700 x 284 мм
Максимальная допустимая нагрузка	270 – 900 кг	500 - 1700 кг	1100 - 3700 кг	2100 - 7000 кг	3600 - 12000 кг	5000 - 17000 кг	11000 - 38000 кг	150000 - 50000 кг
Привод	Пневматический клапанный сервопривод
Максимальное усилие привода	По вертикали: 2200 Н по горизонтали: 390 Н	По вертикали: 25000 Н по горизонтали: 480 Н	По вертикали: 36260 Н по горизонтали: 588 Н	По вертикали: 68600 Н по горизонтали: 2646 Н	По вертикали: 117600 Н по горизонтали: 4410 Н	По вертикали: 167580 Н по горизонтали: 8330 Н	По вертикали: 372400 Н по горизонтали: 11760 Н	По вертикали: 490000 Н по горизонтали: 11760 Н
Степени свободы	6
Диапазон активной изоляции	0.5 - 150 Гц
Виброизоляция при 2 Гц	40 - 70%
Виброизоляция при ≥4 Гц	90%
Входное напряжение	AC однфазный 100 - 240 В
Потребляемая мощность	100 Вт
Диапазон рабочих температур	5 - 50 °C
Допустимая влажность	20 - 90%
Требуемое атмосферное давление	≥ 0.5 МПа (≥ 5 бар)
Требуемая скорость CDA	250 нл/мин

Файлы

Для просмотра и загрузки файлов необходимо зарегистрироваться или войти

대일시스템-국문-DVIA-P-Series-카탈로그.pdf 510.5 KB